第一阶段：技术预研与团队组建
许志远首先意识到，光刻机的研发需要一支专业的团队，而目前研究所内的技术人员虽然有一定基础，但对于这么高精尖的设备，仍然显得经验不足。
他决定从以下几个方向入手：
从全国范围内筛选顶尖的光学、机械、材料学、控制工程领域的专家。
组建跨学科研发小组，分工明确，包括光源研发组、光学系统组、掩模版设计组、机械控制组、化学处理组等。
邀请高校的科研力量参与，例如龙国科学院、清华大学等顶尖学府中的专家教授。
“一个人再聪明，也搞不定光刻机这种技术怪兽。”许志远心里明白，团队协作是关键。
第二阶段：光刻机的核心技术攻关
根据系统提供的资料，许志远将光刻机的关键技术分为以下几个模块，并提出了每个模块的攻关目标：
光源系统：
使用193纳米深紫外（dUV）光源作为第一代光刻机的核心光源。
攻克高功率激光器的设计难点，确保光源的稳定性和高能量输出。
高效率的光束整形系统，保证光线均匀分布。
光学投影系统：
引进超高精度的光学镜片，要求达到亚纳米级的加工精度。
研发多层反射镜技术，提高光线的利用率和成像精度。
机械控制系统：
设计高精度的步进扫描平台，确保硅片移动误差低于1纳米。
开发全新的伺服控制系统，实现实时动态校准。
掩模版与化学处理：
制造高精度的掩模版，确保芯片电路图案的完整性。
研发新型光刻胶和蚀刻液，保证图案转移的清晰度和稳定性。
第三阶段：样机制造与测试
样机设计：基于攻克的核心技术，设计并制造第一代光刻机原型机。
硅片加工测试：通过样机对硅片进行光刻测试，评估电路刻蚀的精度和良率。
优化迭代：根据测试结果，不断优化光源、镜片、掩模版等核心部件，提升设备的性能和稳定性。
第四阶段：量产与工业化推广
量产计划：在第一代光刻机样机通过测试后，制定量产计划，确保设备能够满足龙国工业化需求。
技术封装：对核心技术进行加密，防止国外势力窃取技术成果。
人才培养：通过研发过程，培养一批掌握光刻机技术的人才，为下一代设备研发奠定基础。
许志远看着自己写满了三大张纸的研发计划，心中满是斗志。他深知光刻机的研发道路注定坎坷，但他也清楚，这条路一旦踏上，等待他的将是前所未有的成就。
“90纳米制程工艺虽然不是顶尖，但它是我们追赶世界的一步！”许志远喃喃自语，眼神坚定。
……
许志远在工业部的会议室里，面对着几十位官员和技术专家，郑重其事地将光刻机研发的提案摆在了桌上。
他的语气坚定，眼神中满是对未来的渴望：“同志们，光刻机的研发是我们的当务之急！它不仅是芯片制造的核心设备，更是未来工业化、现代化的基石。如果我们现在不开始研发，将永远受制于人！”
话音刚落，会议室陷入了一阵短暂的沉默，随后爆发出低低的议论声。
许多官员和技术人员面面相觑，表情各异。有的满脸疑惑，有的则眉头紧锁，显然对许志远的提案感到难以理解。
很快，一名穿着灰色中山装的老官员站了起来，语气里带着些许不满：
“许志远同志，我能不能问一句——你说的这个‘光刻机’，到底是个什么东西？
你刚才提到的什么芯片、集成电路，我听着就像是天书。
咱们现在这工业化刚起步，连机床、拖拉机都造不利索，你搞这个高科技的玩意儿，是不是有点太超前了？”
另一个官员也跟着点头附和：“老李说得没错！
我们现在的重点是解决基本民生问题，能吃饱饭、有衣穿、能用上简单的工业设备，这才是头等大事。
许志远同志，你这个提案，说得好听是挺先进，可咱们国家现在的生产力……你觉得有这个能力折腾这些东西吗？”
这话一出，会议室里不少人都低声议论起来，不少人眼神里带着疑惑和不信任。
坐在角落里的外贸部副部长张国辉推了推眼镜，冷笑了一声：
“许志远同志，我不是打击你，但你这个提案确实有点离谱了。
你知道光刻机研发需要多少资金吗？需要多少资源？
据我所知，国外那些资本主义国家为了搞芯片，每年投入的经费高达数亿美元！
我们现在外汇储备都捉襟见肘，工业体系还在摸索阶段，哪有这个余力去搞这些‘高精尖’的东西？”
他顿了顿，语气变得更加尖刻：“更何况，我听说过芯片这种东西。
没错，它在一些高精密领域可能确实有用，但那是资本主义国家的玩意儿，咱们有必要跟着人家屁股后头学吗？
咱们现在的拖拉机、机床技术都还差得远，直接跨到这一步，太不切实际了吧！”
这时候，一名轻工业部的年轻干部也忍不住发言了：
“我也同意张部长的看法。许志远同志，我完全理解你想为国家做贡献的心情，但你可能没有意识到，咱们国家现在连最基础的工业设备都不能完全自主生产。
你知道吗？就拿我们轻工业来说，一台缝纫机的零件都需要从国外进口。
我们连这些最基本的东西都搞不好，怎么可能去搞什么光刻机？”
旁边的几位专家也开始低声讨论起来，其中一位年纪较长的技术专家忍不住站了起来，语气中带着一丝无奈：
“许志远同志，你是搞技术的，我们都知道你厉害。
但你刚才说的什么‘芯片’、‘光刻机’，实在是太抽象了。
你也知道，咱们现在的工业基础还很薄弱，连高精度的机床都做不出来，别说芯片了。再说了，就算我们搞出来了，这东西能干嘛？
在战场上能用？能造武器？能帮农民增加粮食产量吗？”