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深蓝科技的公告发布仅三小时,林渊的办公室就被闻讯而来的高管们围得水泄不通。渊渟文娱的cEo周明远将一份市值报告拍在红木办公桌上,封面的“渊渟文娱”四个字被红笔圈出,旁边标注着“单日跌幅9.3%”的刺眼数据。“林总,你疯了吗?”周明远的声音带着压抑的怒火,“渊渟文娱是我们的现金牛,去年光是影视版权收入就有32亿,你一声不吭就要把利润全抽走,还要启动上市募资——投资者看到我们把文娱的钱砸进半导体这个无底洞,股价还得跌!”

办公室的落地窗映出林渊挺拔的身影,他指尖夹着一份光刻机研发可行性报告,目光落在“关键技术突破点”那一页。“现金牛养得再肥,也挡不住别人卡脖子。”他抬起头,目光扫过围在桌前的高管们,“昨天东京电子断供离子注入机配件,今天可能就是ASmL彻底封死光刻机渠道,明年呢?是不是要连硅料的进口资格都被吊销?到时候深蓝科技倒了,渊渟文娱的版权业务还能独善其身?”

财务总监赵磊推了推鼻梁上的眼镜,翻开随身的笔记本:“林总,我们做过测算。100亿研发投入,即使有30亿国家补贴,剩余70亿需要通过渊渟文娱利润抽调、银行贷款和股权融资三方筹集。其中银行贷款部分,由于穆迪下调了评级,我们最多能贷到25亿,剩下的45亿要靠股权融资——这意味着我们要出让至少15%的股份,您的控股比例会从68%降到53%,失去绝对控股权。”

“控股权重要,还是企业的命重要?”林渊将光刻机报告拍在桌上,图纸上的光学系统结构图被阳光照得格外清晰,“1999年华维遭遇米国第一次制裁时,任远峰把所有现金流砸进自主研发,当时比我们现在的处境难十倍。现在我们有国家支持,有全球顶尖的科学家团队,难道连破釜沉舟的勇气都没有?”他顿了顿,目光落在周明远身上,“渊渟文娱的上市计划必须加速,我已经联系了中金公司,下周就启动路演。影视业务可以适当收缩,把资源集中到版权运营这种轻资产板块,保证现金流稳定。”

周明远还想争辩,苏晴却轻轻拉了拉他的衣袖,递去一个眼神。散会后,苏晴独自留在办公室,看着林渊在白板上绘制研发 timeline,笔尖在“2024年实现28nm光刻机量产”那一行反复圈画。“我知道你压力大。”苏晴端来一杯温咖啡,“刚才周总在会上说的也不是没有道理,渊渟文娱的老员工们跟着我们打拼了五年,要是股价一直跌,他们的股权激励就成了废纸。”

林渊接过咖啡,指尖传来的温度让他紧绷的神经稍稍放松。“我昨晚和任远峰先生的助理通了电话,他给我讲了个故事。”林渊望着窗外研发中心的量子塔,“2003年华维研发3G芯片时,连续失败了16次,研发团队的负责人当着所有人的面摔了手机。任远峰说,摔了再做,直到成功为止。现在舒尔茨教授告诉我,我们的光刻机研发成功率有60%,比当年华维的胜算大得多。”

话音刚落,张明带着林浩然教授匆匆走进来,手里拿着一份技术评估报告。“林总,我们和中科院的团队对接后,发现一个关键问题。”林浩然教授指着报告中的数据,“光刻机的双工作台系统,我们需要达到每小时450片的晶圆处理速度,而国内目前最先进的技术只能做到200片。这个差距不是靠短期攻关能弥补的,至少需要24个月的技术积累。”

“24个月太长,我们等不起。”林渊立刻拨通舒尔茨教授的电话,免提声里传来教授略带沙哑的声音,“我已经联系了ASmL前双工作台研发主管范德霍夫,他因为反对技术封锁被解雇了,现在愿意来龙国工作。他带来了完整的技术方案,只要我们能解决精密导轨的加工问题,18个月就能实现400片\/小时的速度,再通过算法优化,完全能达到目标。”

精密导轨的加工难题,成了摆在研发团队面前的第一道坎。这种导轨的平面度误差必须控制在0.001毫米以内,相当于一根头发丝直径的1\/80,国内只有沈阳机床能勉强达到这个精度,但加工良率不足30%。林渊带着张明和苏晴直奔沈阳机床厂,厂长王建国在车间里指着一台布满油污的五轴加工中心:“这是我们最先进的设备,但刀具和控制系统都是德国西门子的,现在封锁期间,连最基础的精度校准都做不了。”

“我们出钱改造设备。”林渊当场拍板,“深蓝科技投入5亿元,联合中科院沈阳自动化所,给这台加工中心换装国产控制系统和刀具。三个月内必须实现导轨加工良率提升至80%以上,所有研发人员的奖金翻倍。”王建国瞪大了眼睛,他没想到这个年轻的企业家会如此果断——之前有企业来谈合作,光是技术评估就拖了半年。

就在研发团队紧锣密鼓推进导轨研发时,一封匿名举报信送到了证监会。举报信称深蓝科技“虚构研发能力,以自主研发为名进行股权融资,涉嫌欺诈投资者”。证监会很快启动调查,要求深蓝科技在15个工作日内提交研发可行性报告和资金使用计划。消息一出,深蓝科技的估值在一级市场暴跌20%,原本有意向的几家投资方纷纷暂停谈判。

周明远拿着举报信复印件冲进林渊办公室:“肯定是行业竞争对手搞的鬼!现在投资方都在观望,渊渟文娱的路演也受到影响,中金公司刚才打电话说,有三家机构已经明确表示退出。”林渊却异常冷静,他打开电脑,调出一段视频:“这是舒尔茨教授团队昨天拍摄的光源系统测试视频,我们已经实现了193nm准分子激光输出,这是光刻机的核心技术之一。”

第二天,深蓝科技召开了一场特殊的“研发开放日”活动,邀请证监会调查人员、投资方代表和媒体记者走进实验室。当记者们看到“文心三号pro”芯片在高温环境下持续稳定运行,看到双工作台系统的原型机正在进行精度测试时,质疑声渐渐平息。证监会调查人员在现场查阅了研发日志和技术报告后,当场表示“未发现虚构研发能力的证据”。

这场开放日不仅化解了危机,还意外促成了一笔融资。新加坡主权基金淡马锡的投资总监李泽楷在参观完量子AI研究院后,找到林渊:“我们愿意以估值600亿元投资30亿元,占股5%。但我有个条件,研发过程中必须接受我们的财务监管,每一笔资金使用都要提交明细。”林渊没有犹豫:“财务监管可以,但技术研发必须完全自主,淡马锡不能干涉研发方向。”双方当场签订了投资意向书。

然而,更大的阻力来自内部。研发中心的元老级工程师陈涛带着十多位骨干提交了辞职报告,理由是“研发计划过于激进,无视技术规律”。陈涛是林渊创业初期就加入的老部下,曾主导“文心一号”芯片的研发。“林总,我承认自主研发是对的,但18个月搞出光刻机,这根本不可能。”陈涛的声音带着惋惜,“ASmL研发第一代EUV光刻机用了12年,投入了超过500亿欧元。我们现在的资源,连他们的零头都不到。”

林渊在研发中心的会议室里,当着所有员工的面,给陈涛和骨干们鞠了一躬:“我理解你们的顾虑。但现在的情况是,我们没有12年的时间。”他打开投影,播放了一段纪录片——里面是龙国半导体产业过去三十年的发展历程,从1990年中芯国际成立,到2019年长江存储实现3d NANd量产,每一个里程碑都伴随着技术封锁的阴影。“如果我们现在不拼,我们的下一代还要面对同样的封锁。”林渊的声音带着哽咽,“愿意留下的,我们一起干;想走的,我绝不挽留,公司会给双倍的离职补偿。”

当天晚上,陈涛带着三位骨干选择离开,但剩下的七位骨干留了下来。更让人意外的是,第二天一早,有二十多位年轻工程师主动申请加入研发团队,其中包括清华大学微电子专业的三位博士。“我们是冲着自主研发来的。”带头的博士李想拿着自己的光刻机研究论文,“我在斯坦福做访问学者时,亲眼看到米国对龙国留学生的技术限制,现在有机会为国家做实事,就算累点也值。”

研发进度在磕磕绊绊中推进。八月中旬,沈阳机床传来好消息,经过改造的五轴加工中心成功加工出第一根精密导轨,平面度误差仅0.0008毫米,良率达到85%。当导轨被送到深蓝科技的实验室时,舒尔茨教授亲自带队检测,看着检测仪器上跳动的绿色数据,老教授激动得拥抱了身边的张明:“这是奇迹!你们用三个月完成了德国同行两年的工作。”

就在团队庆祝之际,米国商务部突然发布公告,将范德霍夫列入“技术出口管制黑名单”,冻结其在美所有资产,并威胁要对协助他来华工作的机构实施制裁。范德霍夫的妻子打来越洋电话,哭着说米国移民局已经上门调查,要求他们限期回国。“我不会回去。”范德霍夫挂掉电话后,将一份放弃米国国籍的申请递给苏晴,“我在ASmL工作了二十年,最大的遗憾就是看着自己研发的技术成为政治工具。现在我要在龙国实现我的梦想。”

林渊立刻安排陆明的安全团队为范德霍夫及其家人提供24小时保护,同时联系外交部协调办理龙国绿卡。“米国越是打压,越说明我们的方向是对的。”林渊在全体研发人员大会上说,“范德霍夫教授放弃国籍来帮我们,我们要是搞不出光刻机,对得起他的信任吗?”他当场宣布,将自己的年薪从500万降到1元,所有高管年薪减半,节省的资金全部投入研发。

九月初,光刻机研发遇到了最大的技术瓶颈——光学系统的色差校正问题。蔡司的镜片采用了七层镀膜技术,能将色差误差控制在0.0001纳米,而深蓝科技自主研发的镜片,色差误差始终在0.0005纳米以上,导致晶圆曝光精度不足。舒尔茨教授连续三天三夜泡在实验室,熬得眼睛布满血丝,却始终找不到解决方案。

林渊带着团队飞到海市,拜访了中科院海市光学精密机械研究所的王之江院士。这位89岁高龄的老院士,在实验室里给他们展示了自主研发的多层镀膜技术样品。“蔡司的技术是积累了六十年的,我们想一步追上不现实,但可以换个思路。”王院士指着电脑上的模拟图,“用量子点材料替代传统镀膜,虽然工艺更复杂,但能将色差误差降到0.0002纳米,满足28nm制程的需求。”

量子点材料的研发需要投入额外的8亿元,而且研发周期要四个月。当林渊在高管会上提出这个方案时,周明远再次提出反对:“现在已经投入了35亿,再追加8亿,我们的现金流会非常紧张。而且量子点材料从来没有应用在光刻机上,风险太大了。”林渊没有争辩,而是打开了一段视频,里面是王之江院士在实验室工作的场景,老人握着烧杯的手虽然有些颤抖,眼神却异常坚定。“王院士89岁还在搞研发,我们还有什么理由怕风险?”林渊当场拍板,“8亿资金从渊渟文娱的版权收入里抽调,必须保证下个月启动量子点材料中试。”

资金难题刚解决,又一个坏消息传来——日本住友化学宣布停止向龙国供应光刻胶,而深蓝科技的光刻胶库存只够维持一个月。光刻胶是芯片制造的关键材料,全球只有日本住友、信越化学等四家企业能生产,技术壁垒比光刻机还要高。“这是最后的杀招了。”张明拿着住友化学的断供通知,“他们想在材料环节彻底卡死我们。”

林渊突然想起半个月前拜访王之江院士时,老院士提到的海市一家初创企业。他立刻拨通了这家名为“光刻芯材”的企业负责人电话,对方却在电话里连连道歉:“林总,实在对不起,我们的光刻胶虽然通过了实验室验证,但还没实现量产。而且住友化学已经警告过我们,要是敢给深蓝科技供货,他们就发起专利诉讼。”

“量产的资金我们出,专利诉讼我们扛。”林渊的语气不容置疑,“我给你们注资2亿元,建设年产500吨的生产线,三个月内必须实现量产。专利方面,我们已经联系了国内最好的知识产权律师,住友化学要是敢起诉,我们就反诉他们滥用市场支配地位。”放下电话,林渊对苏晴说:“通知法务部,立刻梳理住友化学在华的专利布局,找出他们的专利漏洞。另外,联系工信部,申请将光刻胶纳入国家战略储备物资。”

十月中旬,在投入43亿研发资金后,深蓝科技的光刻机研发终于迎来了第一个关键节点——量子点镀膜镜片成功量产,色差误差稳定在0.0002纳米。当第一台光刻机原型机完成组装,开始进行晶圆曝光测试时,整个研发中心鸦雀无声。屏幕上的光刻图案逐渐清晰,线宽误差仅0.01微米,完全符合28nm制程要求。“成功了!”实验室里爆发出雷鸣般的欢呼,舒尔茨教授抱着林渊,激动得说不出话来,眼泪顺着皱纹滑落。

测试成功的消息很快传到了京市,工信部张部长亲自带队前来视察。看着光刻机原型机正在稳定运行,张部长紧紧握住林渊的手:“你们创造了奇迹!这不仅是深蓝科技的胜利,更是龙国半导体产业的里程碑。国家的第二笔20亿元专项补贴已经到位,另外我们协调了国开行,给你们提供30亿元的低息贷款,年利率只有3.2%。”

然而,林渊并没有沉浸在喜悦中。他知道,原型机成功只是第一步,要实现量产还需要解决良率提升、成本控制等一系列问题。更重要的是,内部的反对声音依然存在——周明远在高管会上再次提出,应该先将光刻机技术授权给中芯国际,通过技术许可获取收益,而不是投入更多资金建设生产线。“现在渊渟文娱的股价虽然止跌回升,但市盈率已经降到了15倍,再大规模投入,投资者会失去信心的。”

林渊没有当场表态,而是带着所有高管去了西安的半导体博物馆。在“龙国半导体产业屈辱史”展区,一张张老照片记录着过去几十年的艰难历程:1985年引进的第一条芯片生产线因技术封锁被迫停产,2000年华维因缺乏自主芯片被迫放弃海外市场,2018年中兴因芯片断供差点破产。“这些照片,我每看一次就心痛一次。”林渊站在照片前,声音沉重,“如果我们现在停下脚步,十年后我们的孩子还会看到同样的照片。”

从博物馆回来后,周明远主动找到了林渊,递上一份渊渟文娱的资金调配方案:“我想通了。昨晚我给我父亲打电话,他说当年他们那代人搞两弹一星,连饭都吃不饱,照样干成了。我们现在条件这么好,没理由退缩。渊渟文娱的版权运营板块已经实现了稳定盈利,我可以再压缩5亿元开支,支持光刻机量产。”

林渊看着眼前的老搭档,心中充满了感动。他拿出一份新的研发计划,上面写着“2024年实现28nm光刻机量产,2026年攻克14nm技术,2030年追上ASmL最先进水平”。“我们的目标不止是28nm。”林渊的目光望向窗外,夕阳将研发中心的玻璃幕墙染成了金色,“未来五年,我们要打造一条从硅料、光刻胶到光刻机、芯片封装的完整产业链,让龙国半导体彻底摆脱对国外的依赖。”

当天晚上,林渊收到了任远峰先生的亲笔信。信上只有一句话:“狭路相逢勇者胜,自主研发的路上,华维与你们同行。”林渊将信贴在办公室的墙上,看着白板上密密麻麻的研发节点,他知道,最艰难的战斗才刚刚开始。但他更坚信,只要团队同心同德,只要坚持自主研发的道路,就没有跨不过的坎,没有攻不下的难关。

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