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中微公司实验室内部,威廉姆斯团队进行关键技术验证。李明作为杰凡星投资的法人代表,专程来了解最新进展。

“这是我们的创新方案。”威廉姆斯指着显微镜下的纳米光学涂层,“通过特殊的材料配比和工艺控制,我们实现了光透过率的大幅提升。”

尹志绕继续补充道:“最新测试数据,光透过率比传统提高了35%。这意味着我们可以采用更长波长的光源方案,实现与短波长相同的分辨率。”

“完全规避了美国的专利壁垒?”李明杰问出了关键。

“是的。”威廉姆斯自信地说,“传统光刻机都在追求更短的波长,我们另辟蹊径,通过创新的光学系统设计和纳米涂层技术,找到了一条全新的技术路线。”

正说着,中科院光电所的张教授走进实验室。作为国内纳米光学领域的权威,他受邀来验证这项突破性技术。

“理论模型很完善。”张教授看完测试数据后说道,“关键是工艺稳定性。目前的良品率如何?”

“首批样品测试的良品率达到85%。”威廉姆斯说,“我们正在优化工艺参数,力争提高到90%以上。”

“这个数据很惊人。”张教授赞叹道,“要知道,即使是ASmL,他们新技术的良品率也很难达到这个水平。”

李明杰追问:“量产还有哪些难点?”

“主要是三个方面。”尹志绕说,“首先是纳米工艺涂层材料的批量生产,目前正在与南大光电合作开发。其次是精密控制系统,需要进一步提高稳定性。最后是集成,要确保各个环节无缝衔接。”

“时间预估?”

“如果一切顺利完成,三个月内就可以工程样机。”威廉姆斯说,“接下来就是反复测试和优化,为量产做准备。”

就在此时,中微的法务总监匆匆赶来:“刚收到消息,ASmL正在申请一批新专利,可能会影响我们的技术路线。”

威廉姆斯仔细查看专利申请文件,立即说道:“不用担心。他们的专利主要围绕短波长光源,与我们的技术路线完全不同。这反而证明我们走对了路。”

“要抢先布局。”李明杰说,“要让业务团队加快专利申请,在全球主要市场同步推进。另外,核心技术资料要做好防护措施。”

“已经做了。”尹志绕说,“我们采用分段保密方式,将核心技术分割成多个模块,分别存储和管理。任何单一泄露都不会影响整体技术安全。”

这时,市科技局的工作人员来访,带来了一个好消息:星城市的半导体创新中心即将投用,将为中微提供更好的研发环境。

“太及时了。”威廉姆斯说,“我们正需要更先进的实验设备。特别是超定位测试平台,对工艺优化至关重要。”

李明杰立即拨通了哥哥李一凡的电话。作为分管经济的省委常委,他需要了解这一重要进展。

“技术突破有了,但量产还需要时间。”李明杰简要汇报,“不过最令人欣慰的是,我们找到了一条完全自主的技术路线。”

“这是关键。”李一凡说,“技术创新不能总是跟在别人后面。要利用这个机会,在新的模仿上实现超越。”

作为光刻胶研发的领军企业,南大光电与中微的技术突破密切相关。

“这是最新的测试报告。”南大光电技术总监王立新表示,“我们开发的新型光刻胶,完全匹配中微米的纳米光学系统。不仅提高了分辨率,还提高了曝光效率。”

“专利布局做的怎么样?”李明杰问。

“已经在美国、日本、同步申请。”王立新说,“这次我们总结了之前的教训,在配方和工艺上欧洲都做了充分的专利保护。即使是美国企业也别想仿制,同时也加强了我们的专利壁垒。”

正说着,中科院材料所的专家组来访。他们正在指挥特种气体和高纯靶材的研发,这些都是半导体制造的关键材料。

“制气吸气技术取得重大突破。”专家组长汇报,“纯度已达到7个9,完全满足28nm程要求。”

李明杰仔细翻看测试数据:“产量规模如何?”

“目前月产能3吨,年底可达到10吨。”专家表示,“关键设备已经国产化,不用担心断供风险。”

就在今年,星城产投董事长赵维康来电表示,省里主管工业的副省长陈松年要来视察。

“正好。”李明杰说,“让各家企业准备一下,重点展示我们在材料领域的突破。”

半个小时后,陈松年一行到达南大光电。

“听说你们在光刻胶领域有重要突破?”陈松年问道。

“是的。”王立新介绍,“我们开发的新型光刻胶,性能已经达到国际先进水平。最关键的是,完全掌握自主知识产权。”

“成本呢?”

“目前比进口产品高15%左右。”王立新说,“但随着产能提升,成本会逐步上升。更重要的是,有了自主供应渠道,不用担心断供风险。”

陈松年点点头:“省里很重视材料的自主可控。这次美国的打压,反而给了我们加快创新的机会。”

视察结束后,陈松年对李明杰说:“你们凡星投资要继续支持这些企业,特别是在关键技术领域有突破的企业。”

“明白。”李明杰说,“我们已经在筹划新一轮投资,重点支持材料和装备领域的创新型企业。”

回到办公室,李明杰收到一份报告:中微的纳米光学技术不仅可以用于光刻机,在光通信、量子计算等领域也有重要的应用价值。

“这就对了。”他自语道,“真正的技术创新,往往能带来随之而来的突破。”

正要下班,妹妹李晓薇打来电话。

“大哥,我们投资的游戏科学有了新突破。”李晓薇兴奋地说道,“《黑神话:悟空》的最新测试版本,画面效果超过了欧美顶级游戏。”

“科技创新不仅仅在芯片领域。”李明杰说,“软件、内容这些领域,我们同样可以实现突破。”

刚挂电话,星城招商局局长高制鹏发来消息:一家欧洲精密机械企业在星城设厂,可以为半导体设备提供高端零部件。

李明杰立即回复:“请他们先来参观,我接待接待。”作为中国最大半导体设备企业的投资方,他深知当地企业的重要性。

晚上回家,李明杰整理一天的见闻,给哥哥李一凡发了个简讯:

“今天的几个突破关键。中微的纳米光学技术、形成南大光电的新型光刻胶、中科院的特种气体,产业链正在自己的创新体系。星城的半导体产业,真的到了一个转折点。”

李一凡立即回复:“继续加油。这一战不仅仅是技术突破,更是产业自信的重建。星城要在保卫产业突围战中,走出一条属于中国的创新之路。”

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